交互吸着膜による干渉ガスからのセンサ感応膜の保護

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-149

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Protenction of Gas Sensor Head from Interference Gas using Layer-by-layer Sequential Adsorption Films

著者名: 白鳥 世明(慶應義塾大学),菊地 正志(慶應義塾大学),渋江 明(TDK)

著者名(英語): Seimei Shiratori(Keio University),Masashi Kikuchi(Keio University),Akira Shibue(TDK Corporation)

キーワード: ガスセンサ|保護|干渉ガス|交互吸着|感応膜|吸着

要約(日本語): プリンタ・エアコン等には、周囲の状況をモニタするために湿度センサが内蔵されている。湿度センサとして電気抵抗式センサを用いる場合、感応膜が機器周辺の様々な干渉ガスによって影響を受け、出力が乱れることがある。そのため、センサ素子を保護するために不織布フィルタが用いられているが、不十分なのが現状である。本研究では、センサ素子に各種ガスが及ぼす影響を軽減するために、不織布フィルタに高分子電解質交互吸着法を用いて高分子薄膜をコーティングし、その効果を測定した。その結果、交互吸着膜をコーティングした不織布フィルタは、

原稿種別: 日本語

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