ガス濃度分布可視化装置を用いたQCMガスセンサの過渡応答解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Analysis of QCM gas sensor tranient response by visualizing gas concentration

著者名: 辻田 亘(東京工業大学),石田 寛(東京工業大学),中本 高道(東京工業大学),森泉 豊榮(東京工業大学)

著者名(英語): Wataru Tsujita(Tokyo Institute of Technology),hiroshi Ishida(Tokyo Institute of Technology),Takamichi Nakamoto(Tokyo Institute of Technology),Toyosaka Moriizumi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: QCMガスセンサ|流れの可視化|過渡応答

要約(日本語): ガス源探知システムの開発の際、ガス濃度変化に対するセンサ応答の遅れを検討する必要がある。また、大気中に開放状態で置かれたセンサの動的特性をモデル化する際にもセンサ応答の遅れの様子を把握することが必要である。本研究では、半導体ガスセンサよりも応答及び回復速度の速いQCMガスセンサを用いてセンサ応答を測定した。また、ガス濃度分布はサンプルガスに混入したトレーサによるレーザー光散乱輝度をガスセンサに近接して置いたフォトダイオードで測定することによって求めた。そして、ガスセンサ応答と輝度応答を同時に測定す

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 102 Kバイト