環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Development of a Microsensor for the Measurement of Environmental Pollutions

著者名: 横山達也 (東京電機大学),原和裕 (東京電機大学)

キーワード: 環境計測|環境汚染|マイクロセンサ|酸化物半導体

要約(日本語): 　本研究では、汚染物質ガスであるホルムアルデヒド等、浮遊粒子状物質であるタバコの煙、ディーゼルエンジンの排気ガス、花粉等を検知するセンサを開発した。 マイクロセンサ、マイクロヒータはダイアフラム構造としたSi基板上に作製した。感応膜は、１層目がFe₂O₃系薄膜、２層目をSnO₂系薄膜の2層構造とすることで安定性と感度の向上をめざした。測定時には、マイクロヒータとセンサを対向状態にして動作させた。　それらの環境汚染物質によるセンサ感応膜の

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 185 Kバイト