LIGAライクプロセスによるNi-Ｃｏ製マイクロアクチュエータの形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-164

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Fabrication of Microactuator made of Ni-Ｃｏ using LIGA like Process

著者名: 安井学 (神奈川県産業技術総合研究所),平林康男 (神奈川県産業技術総合研究所),川口明廣 (神奈川県産業技術総合研究所),星川潔 (神奈川県産業技術総合研究所)

キーワード: Ni-Co|LIGAﾗｲｸﾌﾟﾛｾｽ|櫛歯型ﾏｲｸﾛｱｸﾁｭｴｰﾀ|電鋳

要約(日本語): マイクロマシニング技術の一つにLIGAライクプロセスがある。これは，厚膜レジスト製鋳型のレジスト除去部分に金属を電析し，レジストを除去することで，マイクロアクチュエータ・センサを製作する技術であり，基板上への材料の創製と形成を同時に実現できる。　ヒンジ構造を持つマイクロアクチュエータでは，安定した動作を得るために共振周波数を大きくする必要があり，高硬度材料が要求される。また，LIGAライクプロセスでは，レジスト形状の精密転写に必要な低歪み，他プロセスとの整合による耐熱性が材料に要求される。以上より本研究

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 211 Kバイト