マイクロパラレルリニアアクチュエータシステム

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-166

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): The Micro Parallel Linear Actuator System

著者名: 大野 和幸(立命館大学),宗近 正紀(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Kazuyuki Ohno(Ritsumeikan University),Masaki Munechika(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: インチワーム機構|圧電素子|静電引力|高精密|大動作範囲|並列線形駆動

要約(日本語): マイクロアクチュエータを光学分野や生体分野における精密メカニズムに応用した例は、これまでも報告されているが、その発生力や動作範囲などに課題があった。本研究では、圧電素子による微小変位と静電引力による吸着力の組み合わせたインチワーム機構によるパラレルリニアアクチュエータシステムを提案する。提案システムは、高精度、大動作範囲、大発生力、並列線形駆動が可能であるという特徴を持つ。アレイ状に配列された移動子（スライダ）の電位を独立して制御することにより、前進、停止、後進の3種類の動作を独立して行うパラレル機構を可

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 158 Kバイト