PDMS（ポリジメチルシロキサン）マイクロ三方弁

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-168

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): PDMS (polydimethylsiloxane) three-way microvalve

著者名: 細川 和生(機械技術研究所),前田 龍太郎(機械技術研究所)

著者名(英語): Kazuo Hosokawa(Mechanical Engineering Laboratory),Ryutaro Maeda(Mechanical Engineering Laboratory)

キーワード: マイクロバルブ|PDMS|シリコーン|SU-8|マイクロ化学分析システム|マイクロ流体デバイス

要約(日本語): A three-way microvalve system composed of three independent one-way valve units has been developed. Each valve unit has a membrane, which is actuated by external negative air pressure. Intervals between the valve units are smaller than 780 micrometers.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 202 Kバイト