流体流路の高集積化に適した"in-channel"型空気圧駆動シリコンマイクロバルブ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-169

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): A Pneumatically Actuated In-Channel Silicon Microvalve Suitable for Large Scale Integration of Fluid Channels.

著者名: 高尾 英邦(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 流体制御|マイクロバルブ|マイクロマシニング|マイクロTAS|微小電子機械システム

要約(日本語): シリコン基板表面に対して平行な流路を有する"In-Channel"型マイクロバルブを製作したので報告する。本マイクロバルブは可動ダイヤフラム裏面から気体等による圧力印加を行ない、流路幅の変化を用いて流体流量を制御する。バルブが流路中を遮るように構成されているため、表面上に集積化した様々な流体分析センサ、他のマイクロバルブと集積化することが容易となっている。また、本バルブの制御圧力ポートは基板表面側に導かれており、それを表面の任意の流体流路と結合することによって、表面の流路圧力を用いた高機能なバルブの制御が

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 148 Kバイト