表面マイクロマシニング技術を用いた光ファイバフィルタの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-171

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Development of mechanically tunable filter for optical fiber using surface micromachining technique

著者名: 田口 洋平(東北大学),Jong-Hyeong Song (東北大学),佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Youhei Taguchi(Tohoku University),Jong-Hyeong Song(Tohoku University),Minoru Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: 表面マイクロマシニング|光ファイバフィルタ|静電駆動

要約(日本語): 光通信システムの発展が求められている。光スイッチを初めとする光ネットワークを支えるデバイスが盛んに研究されている。本研究では表面マイクロマシニング技術によって実現される構造を光ファイバフィルタに応用することを目的としている。フィルタはコア近傍まで平坦に研磨された光ファイバとpoly-Siで作られたダイアフラムから構成される。光ファイバ研磨面からのダイアフラムの位置を静電駆動によって変化させることができる。コア近傍の屈折率が変化することにより、光ファイバの特性を変化させることができる。予備実験として、光ファ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 499 Kバイト