磁気駆動型マイクロミラーの動作計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-172

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Measurement of Motion Characteristics of a Magnetically Actuated Micromirror

著者名: 岡野 陽子(神奈川県産業技術総合研究所),平林 康男(神奈川県産業技術総合研究所),星川 潔(神奈川県産業技術総合研究所),小林 賢(神奈川県産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yoko OKANO(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Yasuo HIRABAYASHI(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Kiyoshi HOSHIKAWA(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Ken KOBAYASHI(Kanagawa Industrial Technology Research Institute)

キーワード: マイクロマシン|マイクロミラー|スキャナ|光てこ法|計測

要約(日本語): マイクロマシニング技術を応用して開発した磁気駆動型回転マイクロミラーの動作を評価する為、光てこ部，移動距離測定部，ミラー駆動部からなる計測システムを製作した。この計測システムで、試作マイクロミラーの静磁場、振動磁場における動作を測定した。この結果より、ミラーの共振周波数とQ 値を算出することができた。さらに、異常共振時のミラーの振動軌跡をPSD で観察することで、印加磁場の2 倍の振動数で振動していることも確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 130 Kバイト