マイクロメカニズムを利用したレーザー描画デバイスの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-173

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Development of the Laser drawing Device which used a Micro Mechanism.

著者名: 別所芳則 (ベンチャーフォーラム三重),風早富雄 (エフエムレーザテック),小磯賢智 (三重県工業技術総合研究所)

キーワード: レーザー|弾性線|応力|磁石|チップコイル|円運動

要約(日本語): 　弾性線先端に微小ミラーと微小磁石を設け、他方端を固定する。そして、微小磁石周辺のＸ方向とＹ方向の所定箇所に２個のチップコイルを備える。チップコイルから交番磁界を与えることで微小磁石を振動させる。即ち、微小ミラーを振動させる。両交番磁界に９０度の位相差を持たせれば円又は楕円運動となる。これにより、円又は楕円のレーザー描画が可能となる。又、弾性線の固定時にY方向に所定の応力を印加する。これにより、X方向とY方向の弾性係数を異ならせて、共振周波数を周波数軸上で分離する。１方向の交番磁界のみ印加すれば、安定した

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 105 Kバイト