高アスペクト比構造を用いた低Ｇ用静電容量型加速度センサに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-176

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Study on a High Aspect Ratio Structure for a Capacitive Low-G Accelerometer

著者名: 疋田 雄児(立命館大学),吉藤 健次(立命館大学),杉山 進(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Yuji Hikida(Ritsumeikan University),Kenji Yoshifuji(Ritsumeikan University),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: 静電容量型加速度センサ|電極分散構造|高アスペクト比構造

要約(日本語): 近年、自動車・航空機等の幅広い分野において小型・高感度・高精度な加速度センサが求められており、中でも１Ｇ以下の微弱・低周波加速度の検出が課題となっている。静電容量型加速度センサは他の検出方式に比べて高感度・高精度に検出可能であるが、小型化すると初期容量が減少し、寄生容量の影響を受ける。本研究では、センサ構造を高アスペクト比化することで初期容量を増やし、0.1～0.4m/s2領域（検出周波数範囲0.5～5Hz）の低Ｇ加速度を高感度・高精度に検出可能な加速度センサの開発を目的としている。本発表では、ＦＥＭ解析

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 403 Kバイト