超磁歪アクチュエータによる超精密分子レベル位置決め機構におけるヒステリシス補償に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-228

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

タイトル(英語): Discussion of Hysteresis Compensation Method for Super Precision Molecule Level Positioning System Using a Giant Magnetostriction Actuator

著者名: 小菅 昌宏(茨城大学),中野 博民(茨城大学),江田 弘(茨城大学),近藤 良(茨城大学)

著者名(英語): Kosuge Masahiro(Ibaraki University),Nakano Hirotami(Ibaraki University),Eda Hiroshi(Ibaraki University),Koudou Ryou(Ibaraki University)

キーワード: 超磁歪アクチュエータ|超精密分子レベル位置決め機構|ヒステリシス|積分制御

要約(日本語): 本研究は搭載荷重数百キロkgから数トンの超重量荷重を分子レベルで制御する超重量荷重の超精密位置決めシステムを開発することを目的としている。本開発システムは、特別に開発された超磁歪アクチュエータ並びに新たに考案された弾性変位テーブルを用いて分子レベルの極めて微細な高精度の位置決めシステムを目指している。ここにおいて弾性変位テーブルは分子レベルの高精度の位置決めをする上で極めて悪影響を及ぼす摩擦系を排除する特殊な構造としている。さらに本提案システムの制御系において、超精密位置決めを行上で妨げとなる超磁歪アクチュエータ特有のヒステリシス現象について言及し、トータルシステムとしてヒステリシス現象の影響が効果的に抑圧された超精密位置決めシステムとなっている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 191 Kバイト