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表面波プラズマの放電特性とシミュレーション
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カテゴリ: 全国大会
論文No: 1-S4-3
グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集
発行日: 2001/03/21
著者名: 桂井誠 (東京大学),金載浩 (東京大学),鳥羽孝幸 (東京大学)
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 1,131 Kバイト
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