高誘電率導入窓によるマイクロ波プラズマの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-5

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 進藤春雄 (東海大学),草場康太 (東海大学),品川啓介 (キャノン販売),古川雅一 (キャノン販売),河村勝文 (キャノン販売)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 417 Kバイト