マイクロ波プラズマのラジアルスロット型励起

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-8

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 八坂保能 (京都大学),古賀一也 (京都大学),石井信雄 (東京エレクトロン),安藤真 (東京工業大学),山本哲也 (山形大学),高橋應明 (東京農工大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 354 Kバイト