微結晶シリコン薄膜作製へのマイクロ波プラズマ応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-9

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 白井肇 (埼玉大学),佐久間喜和 (埼玉大学),吉野浩一 (埼玉大学),大河原豪 (埼玉大学),上山寛之 (日本高周波)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 419 Kバイト