ダイヤモンド薄膜作製へのマイクロ波プラズマ応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-10

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 永津雅章 (名古屋大学),牧野雅哉 (名古屋大学),菅井秀郎 (名古屋大学),丹花通文 (東洋鋼鈑)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,342 Kバイト