スパッタ薄膜作製へのECRプラズマ応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-11

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 三宅正司 (大阪大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 362 Kバイト