LSI微細加工プロセスへのUHF-ECRプラズマ応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S4-12

グループ名: 【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集

発行日: 2001/03/21

著者名: 板橋直志 (日立製作所),森政士 (日立製作所),小藤直行 (日立製作所),根岸伸幸 (日立製作所),横川賢悦 (日立製作所),伊澤勝 (日立製作所),田地新一 (日立製作所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,007 Kバイト