プラズマカソードを用いたエキシマレーザ用放電電極の放電特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-018

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Discharge Characteristics of Plasma Cathode for Excimer Laser Electrode

著者名: 井手 義章(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),猪原哲 (佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)

著者名(英語): Yoshiaki Ide(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Satoshi Ihara(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)

キーワード: エキシマレーザ|プラズマカソード|コロナ予備電離

要約(日本語): 現在、エキシマレーザ装置に求められている条件の一つに、放電電極の長寿命化が挙げられる。放電電極表面では、予備電離や電界の不均一性による集中放電やF₂ガスによる腐食により電極寿命は、10⁸～10⁹ショットと短い。集中放電を抑制するために、コロナ予備電離用電極を陰極電極上に設置したプラズマカソードを提案する。電極表面に初期電子が供給されるため、陰極電位が上昇し金属電極におけるスパッタが低減されるため、長寿命化の可能性があると考えられる。本研究では、プラズマカソードにおけるコロナ予備電離の特性を調べるために、比誘電率の異なる誘電体材料を用いた時のHeガス中の放電特性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 147 Kバイト