エキシマレーザ用コロナ予備放電の観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-021

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Evaluation of Corona Preionization Discharge for Excimer Laser

著者名: 釡谷 昌樹(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),猪原哲 (佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)

著者名(英語): Masaki Kamatani(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Satoshi Ihara(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)

キーワード: コロナ放電|エキシマレーザ|予備電離

要約(日本語): 現在LSIの高集積化において、微細加工プロセスの一つである光リソグラフィ技術が重要となっており、その光源として数kppsの高繰返しエキシマレーザが用いられている。数気圧という高ガス圧力中で均一な放電を得るために予備放電が行われており、コロナ方式が主流になっている。しかし、そのコロナ予備放電の研究はほとんど行われておらず、その予備電離密度の低さにもかかわらず、均一な放電が実現されるメカニズムは解っていない。本報告では、基礎研究としてコロナ放電をICCDカメラで撮影し、放電の様子について調べた。その結果、立ち上がりの早い印加電圧パルスを印加することにより，放電が均一で発光も強いことが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 157 Kバイト