水電極を用いた無声放電によるオゾン水生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-098

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of Ozonized Water Generator Using Water Electrode by Barrier Discharge

著者名: 馬場 健行(武蔵工業大学),江原由泰 (武蔵工業大学),岸田 治夫(武蔵工業大学),伊藤泰郎 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Takeyuki Baba(Musashi Instiute of Technology),Yoshiyasu Ehara(Musashi Instiute of Technology),Haruo Kishida(Musashi Instiute of Technology),Tairo Ito(Musashi Instiute of Technology)

キーワード: オゾン水|無声放電|水電極|溶存オゾン濃度

要約(日本語): 近年、オゾン水は半導体デバイスの製造や食品、精密機械部品の洗浄など幅広い分野に用いられるようになり、高濃度かつ高効率なオゾン水の生成法が求められている。現在のオゾン水生成法では、無声放電方式のオゾナイザにより発生させたオゾンを反応槽中で水と接触させてオゾン水が作られている。本研究では、無声放電型オゾナイザの下部電極上に水を流通させている。したがって、放電空間で生成されたオゾンが直接水に溶存しオゾン水を生成するシステムである。本実験システムにおける誘電体材料を変化させてオゾン水生成を行った結果、ガラスよりテフロンを用いた場合の方が本装置では有効であることが明らかになった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 146 Kバイト