マイクロホローカソード放電によるオゾン生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-107

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Ozone generation using a micro hollow-cathode discharge

著者名: 倉林 賢慶(東京工業大学),遠藤 康信(東京工業大学),渡辺 英聡(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takayoshi Kurabayashi(Tokyo Institute of Technology),Yasunobu Endo(Tokyo Institute of Technology),Hideaki Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Kouichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shouzou Ishii(Tokyo Institute of Technology)

要約(日本語): オゾンは浄水，下水をはじめ半導体プロセスまで幅広く使われている．高濃度のオゾン発生装置では，誘電体電極を用いた交流電源を用いたバリア放電方式が主に使われている．この方式は歴史も古く様々な改良によってオゾン発生効率も高い．本研究では，放電空間を超小型化すると，酸素分子を解離する放電空間とオゾン分子を生成する反応区間とが分離でき，オゾン分解の抑制が可能になると考えて，高気圧マイクロホローカソード放電に着目した．これによって，バリア放電方式にない特徴，すなわち超小型かつ簡便な直流駆動による高効率オゾン発生を目指している．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 129 Kバイト