真空中熱処理前後における無酸素銅電極のからの放出ガス分析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-113

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Analysis of Desorbed Gases from Cu Electrode Surfaces Before and After Heating Treatment in Vacuum

著者名: 中村 一裕(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),斉藤 芳男(高エネルギー加速器研究機構)

著者名(英語): Katsuhiro Nakamura(Saitama University),Yasushi Yamano(Saitama University),Shinichi Kobayashi(Saitama University),Yoshio Saito(High Energy Accelerator Research Organization)

キーワード: 四重極質量分析計|電子衝撃脱離|脱離ガス|真空中絶縁破壊

要約(日本語): 真空ギャップの絶縁破壊の原因の一つとして電界放出電子の照射を受けた陽極からの吸着・吸蔵ガスの脱離が考えられている。従って、高い絶縁性を得るためには、ガス放出の少ない電極材料の開発が必要であり、電子照射を受けた電極からのガス放出特性を評価する方法の確立が望まれている。そこで本研究では、真空中において、電極に加熱処理を行う前後の電極表面に、電子銃により数keVのエネルギーを有する電子を照射し、電極から脱離するガスの分析を、四重極質量分析計（QMS）を用いて行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 150 Kバイト