大気圧非熱平衡プラズマによるフルオロカーボンの分解特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-160

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Treatment of Fluorocarbon using Non-Thermal Atmospheric Plasma

著者名: 林 信哉(佐賀大学),山本 和弘(佐賀大学),猪原哲 (佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)

著者名(英語): Nobuya Hayashi(Saga University),Kazuhiro Yamamoto(Saga University),Satoshi Ihara(Saga University),Saburo Sato(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)

キーワード: フルオロカーボン|大気圧プラズマ|ストリーマコロナ放電|分解特性

要約(日本語): 大気圧非熱平衡プラズマを用いたフルオロカーボンの分解特性について調べている．乾燥空気により100ppm程度に希釈したCF4にストリーマコロナ放電により発生したプラズマ中の電子が衝突することによりCF4が分解される．放電のパラメータである放電電圧や放電電圧峻度を変化させ，得られたCF4の分解効率の変化からCF4の分解特性を調べた．その結果，二酸化炭素やトルエンの処理の場合に比べて，CF4の分解に必要な電子のエネルギーはより低いことが明らかになった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 120 Kバイト