誘導熱プラズマによるAl2O3厚膜の減圧溶射時におけるスペクトル観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-166

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Spectra Observation during Low Pressure Thermal Plasma Spraying of Al₂O₃ Film Inductively Coupled Thermal Plasma

著者名: 丸平 篤史(金沢大学),河村 武宜(金沢大学),田中 康規(金沢大学),作田 忠裕(金沢大学)

著者名(英語): Atushi Maruhira(Kanazawa University),Takeyosi Kawamura(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tadahiro Sakuta(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|減圧溶射|アルミナ

要約(日本語): 近年，各種機能性セラミクスはさまざまな分野で広く使用されている。特に耐熱・耐電圧性セラミック膜は、原子炉内部や宇宙開発などの耐熱用として応用されつつある。そこで本研究では，各種機能性セラミクスの中から耐熱性・耐電圧性に優れたアルミナ(Al2O3)を用いて，高周波誘導熱プラズマの減圧溶射により耐電圧・耐熱性セラミック厚膜の生成を試みている。今回は圧力変化による生成膜の違いについて検討している。生成膜表面をSEMで分析すると，低圧時に緻密な膜ができている。また，溶射時のプラズマ内部状態を調べるために分光観測を行っている。分光観測結果より，高圧時より低圧時Alのスペクトルが顕著に観測さている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 351 Kバイト