ホローカソードプラズマによるパルス体積放電の形成・制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-167

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Pulsed volume discharge driven by a hollow plasma cathode

著者名: 前田 耕策(東京工業大学),山野井 隆(東京工業大学),増田 敏之(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Kousaku Maeda(Tokyo Institute of Technology),Takashi Yamanoi(Tokyo Institute of Technology),Toshiyuki Masuda(Tokyo Institute of Technology),Kouichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shouzou Ishii(Tokyo Institute of Technology)

要約(日本語): ホローカソード放電は低気圧レーザ放電に広く用いられているほか、最近では，陰極穴径を数100 mmにすることで大気圧以上の高圧力で動作するエキシマ光源などにも利用されている。一方で、プラズマカソードによる体積放電の制御は高い放電安定性が見込めることから継続して研究が行われている。本研究では、数100 Torr程度の圧力で動作可能なCO2レーザ励起用体積放電を、ホロープラズマカソードを利用して実現することを目指している。この方式に依れば、極めて小さな体積および放電電力で、はるかに大きなエネルギーのする体積放電を発生し、制御することが可能となる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 112 Kバイト