Ar-N2誘導熱プラズマ反応器内の反応論的非平衡粒子密度分布

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-168

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Particle Density Distribution under Chemical Non-Equilibrium Condition in Ar-N₂ Inductively Coupled Thermal Plasma Reactor

著者名: 田中 康規(金沢大学),作田 忠裕(金沢大学)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tadahiro Sakuta(Kanazawa University)

キーワード: 反応論的非平衡|誘導熱プラズマ|粒子密度|対流|拡散

要約(日本語): 誘導熱プラズマは高温で反応論的に活性で，不純物のない熱プラズマができるため，様々な材料プロセス分野で応用されている。この分野においては，熱プラズマ部だけでなく，材料が再合成・反応を行う反応容器内のラジカル種分布を詳細に把握することが重要である。今回Ar-N₂誘導熱プラズマを対象として，30の反応速度と，熱力学・輸送特性への反応論的非平衡効果とを考慮したモデルを構築し，熱プラズマ部および反応容器内の粒子密度分布を求めた。その結果，活性なN原子密度分布について，これまでの局所熱平衡モデルによる結果との間に大きな差が見られた。この差は，チャンバ内の温度の低い領域における径方向への拡散と，出口付近における強い対流とによることが判明した

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 187 Kバイト