VHFプラズマ励起スラブ炭酸ガスレーザの短パルス化ー振動波形変化による高繰返し発振・短パルス化ー

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-172

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): The study of pulsation on the VHF plasma excitation slab type CO2 laser-Short pulsation and high reptation by the oscillatory wave form change-

著者名: 森 啓(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Akira Mori(NIhon-university),Kaoru Suzuki(NIhon-university)

キーワード: スラブ炭酸ガスレーザ|短パルス化|繰返し周波数|振動波形

要約(日本語): 炭酸ガスレーザは加工等に広く用いられ、高繰り返し化・短パルス化が求められている。そこで、小型の装置でも高出力が得られるスラブ型レーザーに着目し、高繰り返しで短パルス化させることを目的に研究を行っている。スラブ型炭酸ガスレーザーのパルス化の方法として電源変調法等が用いられているが、これらの方法では繰り返し速度は十kHz程度で限界となる。そこで光共振器の形態を変化させることを検討し正弦波振動させることで最短パルス幅240ns、約200kHzまでの繰返し発振を確認した。本稿では高繰返し周波数で発振させながら・パルス幅を短くすることを目的に振動波形を変化させ、その影響について検討した結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 141 Kバイト