表面波放電プラズマ装置内の電磁界数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-174

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Numerical analysis of electro-magnetic fields in a surface wave discharge plasma equipment

著者名: 野村 実(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Minoru Nomura(Science University of Tokyo),Sumio Kogoshi(Science University of Tokyo)

キーワード: プラズマ|表面波放電|FDTD

要約(日本語): 表面波放電プラズマは、カットオフ密度以上の高密度なプラズマを生成し、均一かつ大口径化が可能といった特色をもつため、次世代の半導体プロセス用プラズマ源として期待されている。導波管のマイクロ波伝搬方向寸法は管内波長の2波長分が最適とされ、用いられるスロットアンテナとして、inclined slot形状アンテナがある。本研究では、実際に装置を製作する際に、最適とされている導波管のマイクロ波伝搬方向の寸法と、スロットアンテナの寸法を変化させた場合の電磁界の変化に関して調査するため、時間領域差分法(FDTD:finite-difference time-domain)法を用いて、3次元の数値解析を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 165 Kバイト