表面波プラズマにおけるエネルギー吸収量への誘電体分割の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-175

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Effect of divided dielectrics on power absorption in surface plasma

著者名: 小林 一仁(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Kazuhito Kobayashi(Science University Of Tokyo),Sumio Kogoshi(Science University Of Tokyo)

キーワード: 表面波プラズマ|スロットアンテナ|マイクロ波|誘電体分割

要約(日本語): 今日の半導体産業においては、素子の高集積化や高性能化のための微細加工技術の向上とともに、生産性向上のための大口径化が必要とされている。今回、我々は表面波プラズマ装置を大口径化することを念頭において、実効的な大口径誘電体の実現のために誘電体を分割することを考えた。すなわち、装置に合った1枚の大きな誘電体を使用するのではなく、小さな誘電体を数枚用いて大口径の誘電体を実現した際の、表面波プラズマへの影響、特にエネルギー吸収量の変化についてFDTD法を用いて解析した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 135 Kバイト