スパイラルアンテナを用いたm＝0，1定在波ヘリコン波放電プラズマ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-186

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): m=0,1 Standing Helicon Wave Plasma Production by the spiral antenna

著者名: 卜部 友二(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Yuji Urabe(Science University of Tokyo),Sumio Kogoshi(Science University of Tokyo)

キーワード: ヘリコン波放電|スパイラルアンテナ|ヘリコンモードm＝0，1

要約(日本語): 誘導結合型RF放電プラズマ生成装置に外部磁界とスパイラルアンテナを適用して、低圧・高密度の軸方向定在波ヘリコン波放電の生成を試みた。今回は、スパイラルアンテナの形状最適化によりm＝0，1の定在波ヘリコン波放電プラズマの生成に成功した。また、その際の平均電子密度の変化と、半径方向の電子密度分布についても報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 119 Kバイト