大気圧マイクロ波放電

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-190

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Atomospheric pressure microwave discharge

著者名: 志村 和哉(武蔵工業大学),江口 忠良(武蔵工業大学),堤井信力 (武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Kazuya,Shimura|Tadayosi,Eguti|Sinnriki,Teii|Sigeru,Ono

キーワード: マイクロ波|プラズマ|大気圧|放電

要約(日本語): 近年までプラズマプロセス技術を様々な危険汚染物質の分解に使う研究がなされている。例えば、排気ガスの窒素酸化物やノックス、ソックスの解離、オゾン処理による水の浄化などがあげられる。本研究では現在までに低気圧下でのマイクロ波放電プラズマによるプラスチックの分解が行われてきた。しかし真空ポンプをひかなければならないなどコストがかかる。そこでさらに実用化に近づけるために大気圧下でのイクロ波放電プラズマを利用することを考えた。しかし、大気圧下における放電は一般に困難とされている。そこで大気圧下における放電を行い安定に維持することが本研究の目的である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 155 Kバイト