平行平板型RFプラズマにおける電力特性の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-191

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Power Characteristics of Parallel-Plate RF Plasma in Ar

著者名: 田島 伸治郎(中央大学),池垣 秀樹(中央大学),雨宮 宏(理化学研究所),遠藤 正雄(中央大学)

著者名(英語): Shinjiro Tajima(Chuo University),Hideki Ikegaki(Chuo University),Hiroshi Amemiya(The Institute of Physical and Chemical Reseach),Masao Endo(Chuo University)

キーワード: 平行平板型RFプラズマ|電力特性|電極の間隔と半径比

要約(日本語): 現代社会の工業, 産業の分野においてプラズマは不可欠なものとなっている. デポジッション, エッチングでは最適な形態とされる一方, プラズマの均一化, プロセスの高速化, 効率上昇が課題とされている. そのため電子温度, 密度等の基礎量を正確に把握し, 実際に注入される電力を知る必要がある. 現在のデポジッション, エッチングでは電極の間隔と半径の比が1よりも小さいものが多く用いられているが, 十分にパワーを供給出来ないという問題点がある. 本実験では, RFプラズマの等価回路に基づき, 上述の比が1よりも大きい場合について電力特性を測定し, その検討を行う.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 142 Kバイト