RF放電プラズマによる基板への熱流束と電子密度分布測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-192

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Measurement of electron density distribution and heat flux into substrate by RF discharge plasma.

著者名: 菅野修治 (岩手大学),尾形 広人(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Shuji Kanno(Iwate University),Hiroto Ogata(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Kouichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)

キーワード: 電子密度|熱流束|RF放電プラズマ|レーザ干渉

要約(日本語): 本研究は、容量結合型RF放電プラズマの電子密度分布と基板に入る熱流束を、それぞれ円筒型プローブ、LiNbO3結晶を用いて測定した。平行平板電極にはガードリングを施しており、電極間隔は2cmと4cmの場合で測定した。その結果、電極間隔が2cmの場合は、電極の端付近で電子密度は最大となり、4cmの場合は電極中心付近で最大となった。熱流束は、LiNbO3結晶を用いて測定した温度から計算により求めた。その結果、電子密度分布と熱流束分布の傾向はよく一致した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 126 Kバイト