両極性パルス加速器の開発I

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-201

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of Bipolar Pulse Accelerant on I

著者名: 藤岡 裕貴(富山大学),河原 吉博(富山大学),三井 千尋(富山大学),北村 岩雄(富山大学),高橋 隆一(富山大学),升方 勝己(富山大学),田中 保宣(産業技術総合研究所),田上 尚男(産業技術総合研究所),荒井 和雄(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yuki Fujioka(Toyama University),Yoshihiro Kawahara(Toyama University),Chihiro Mitui(Toyama University),Iwao Kitamura(Toyama University),Takakazu Takahasi(Toyama University),Katumi Masugata(Toyama University),Yasunobu Tanaka(Advanced Industrial Science and Technology),Hisao Tanoue(Advanced Industrial Science and Technology),Kazuo Arai(Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: 両極性パルス|イオンビーム

要約(日本語): 大強度パルスイオンビーム（PIB）は核融合や材料科学など幅広い応用領域を持っている。現在、我々は半導体などへのパルスイオン注入を目的としているが、従来のPIBはイオンの純度が低く注入は困難である。そこで、PIB発生後の純度を向上させるために両極性パルスを用いる新しい PIB加速器を提案し、開発を行っている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 169 Kバイト