パルス静電応力法による紫外光照射ポリイミドの劣化評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-051

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Evaluation of Degradation in Polyimide Induced by Ultraviolet Photons Using the Pulsed Electroacoustic Method

著者名: 山口 晃(早稲田大学),平井 直志(早稲田大学),田中 祀捷(早稲田大学),大木義路 (早稲田大学)

著者名(英語): Akira Yamaguchi(Waseda University),Naoshi Hirai(Waseda University),Toshikatsu Tanaka(Waseda University),Yoshimichi Ohki(Waseda University)

キーワード: パルス静電応力法|ポリイミド|静電容量|紫外線劣化|電気絶縁|劣化診断

要約(日本語): 全芳香族ポリイミドにKrFエキシマレーザーを用いて紫外光を照射し、照射試料の空間電荷分布、静電容量を測定した。空間電荷分布測定では、照射回数が増加すると照射面である陰極上にみられた電荷のピークが試料内へ移動した。これは照射面からピーク付近までの導電率が著しく上昇したためであると考えられる。静電容量は、10²ショット照射試料では未照射試料より若干増加しただけであったが、10⁴ショット照射試料では著しく増加した。照射面より空間電荷ピークまで導電性になったと仮定した場合の静電容量は実測値と類似しており、紫外線劣化によりポリイミドの導電率は大きく上昇することがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 316 Kバイト