高分解能PWP空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-067

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of High Resolution Space Charge Measurement Equipment using PWP Method

著者名: 矢島 裕之(武蔵工業大学),市川 英樹(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),深尾 正(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)

著者名(英語): Hiroyuki Yajima(Musashi Institute of Technology),Hideki Ichikawa(Musashi Institute of Technology),Yasuhiro Tanaka(Musashi Institute of Technology),Tatsuo Takada(Musashi Institute of Technology),Tadashi Fukao(Musashi Institute of Technology),Takashi Maeno(Communications Research Laboratory)

キーワード: PWP法|PIPWP法

要約(日本語): 近年、小型化が進む電子機器に用いられる絶縁層は薄型化され、その絶縁層に印加される電界も高電界化してきている。そこに蓄積される空間電荷分布を測定する場合、PEA法では薄い絶縁体の測定に適していないため困難である。また、LIPP法では薄い絶縁体の測定は可能だが、ハイコスト、広いスペースが必要となってしまう。そこで、LIPP法と同じPWP法であるPIPWP法による薄い絶縁体の測定を可能にするために、高分解能PWP測定装置の開発を行った。また、PWP法の問題点であるAMP保護の処置も行った。今回はPIPWP測定において固体絶縁体中での電荷分布測定を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 166 Kバイト