超高分解能LIPP空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-068

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of Super High Resolution Space Charge Measurement System using LIPP Method

著者名: 市川 英樹(武蔵工業大学),矢島 裕之(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),深尾 正(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)

著者名(英語): Hideki,Ichikawa|Hiroyuki,Yajima|Yasuhiro,Tanaka|Tatsuo,Takada|Tadashi,Fukao|Takashi,Maeno

キーワード: LIPP法|空間電荷|高分解能

要約(日本語): PC機器の省スペース化と高性能化により、内部基板の薄い絶縁層には高電界が加わり、空間電荷が蓄積することが予想される。空間電荷の存在は絶縁破壊と密接な関係があると考えられており、絶縁体の特性調査には空間電荷分布測定が重要となる。レーザパルス誘起圧力波(LIPP)法は他の測定法に比べ薄い試料の測定が容易である。今回、LIPP法の長所である高分解能測定を、信号検出系の更なる広帯域化により、より薄い固体絶縁体中の空間電荷分布の測定を容易にした。更に短所であった検出信号増幅器の保護についても、初段増幅器として広帯域かつ安価なAMPを自作し、絶縁破壊や沿面放電発生時に破壊されるAMPのコストを低減させた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 153 Kバイト