有機EL素子用電極と有機薄膜の表面観察

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-124

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Surface Observation of Electrode and Organic Thin Film for Organic Electroluminescent Device

著者名: 田中 圭一(八戸工業大学),藤田 成隆(八戸工業大学)

著者名(英語): Keiichi Tanaka(Hachinohe Institute of Technology),Shigetaka Fujita(Hachinohe Institute of Technology)

キーワード: 有機EL|有機薄膜|AFM像

要約(日本語): スパッタ法と蒸着法の2種類の成膜法により作製した有機EL素子用ITO電極表面とその電極上に積層させた有機薄膜の表面について、AFM装置による観察、原子の分布状態および結晶構造の評価を行った。その結果スパッタ法により作製されたITO電極は面粗さが小さく、また原子の分布状態も均一であり有機層を積層させる場合に適していることが確認された。さらにITO電極上に積層した有機層についても、同様の測定を行い、評価を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 176 Kバイト