フッ素導入ポリイミド薄膜コンデンサの湿度特性と成膜方法の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-142

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Humidity dependence of the electrical properties of fluorinated polyimide thin film prepared by spin coating and vapor deposition polymerization method

著者名: 山下 秀聡(信州大学),伊東 栄次(信州大学),宮入 圭一(信州大学)

著者名(英語): Hideaki Yamashita(Shinshu University),Eiji Itoh(Shinshu University),Kiichi Miyairi(Shinshu University)

キーワード: 湿度センサ|フッ素導入ポリイミド|静電容量|蒸着重合法|スピンコート法

要約(日本語): 本研究では、フッ素導入ポリイミド薄膜コンデンサでのスピンコート法と蒸着重合法の異なる成膜方法を用いることで湿度存在下での電気特性を調査した。スピンコート膜では静電容量が湿度により湿度依存性がなく直線的に変化した。また電極をAlからAuに変えることで湿度ヒステリシスの減少につながった。電気伝導では湿度により指数関数的に変化したが、温度特性、湿度ヒステリシスが不安定である。一方、蒸着重合膜の湿度による静電容量は、温度特性があり、湿度ヒステリシスが大きい結果となった。電気伝導においては、3Vで電流が急激に増加し、湿度が高くなるほどその傾向は顕著になった。これは蒸着重合膜中の残留モノマーに吸着した水分子による影響ではないかと考えられる。そこで蒸着重合の成膜条件を検討することで改善を試みた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 216 Kバイト