負パルスバイアスイオンビーム蒸着法によるDLC太陽電池の創製-不純物ドープ時における膜評価-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-150

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): The invention of the DLC solar cell by the negative pulse bias Ion Beam Plating method.-Film evaluation which can be set at the time of an impurities dope-

著者名: 二階 大介(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Daisuke Nikai(Graduate School of Nihon University),Hideki Nakamori(Nanotec Corporation),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 太陽電池|ダイヤモンド状炭素|プラズマ

要約(日本語): 近年、環境破壊の原因である化石燃料にかわりクリーンなエネルギーとして太陽エネルギーが注目され、それを用いたデバイスとして太陽電池が期待されている。そこで我々はダイヤモンド状炭素（Diamond-Like Carbon：DLC）薄膜のアモルファス半導体特性に着目し、負パルスバイアスイオンビーム蒸着法によりDLCに不純物をドープして太陽電池を作成した。今回は作成したDLC太陽電池の膜評価を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 116 Kバイト