大バルクハウゼン効果を利用した薄膜磁気センサの作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-189

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Fabrication of Magnetic Thin Film Sensor by Large Barkhausen Effect

著者名: 馬場 康壽(神奈川県産業技術総合研究所),星川 潔(神奈川県産業技術総合研究所),秋山 賢輔(神奈川県産業技術総合研究所),栗原 幸男(神奈川県産業技術総合研究所),根岸 靖(神奈川県産業技術総合研究所),小山 昌二(ヒロセチェリープレシジョン),安部 正規(ヒロセチェリープレシジョン),後藤 章博(ヒロセチェリープレシジョン),阿部 晋(神奈川大学)

著者名(英語): Yasuhisa Baba(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Kiyoshi Hoshikawa(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Kensuke Akiyama(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Yukio Kurihara(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Kiyoshi Negishi(Kanagawa Industrial Technology Research Institute),Shoji Oyama(Hirose Cherry Precision Co.,Ltd.),Masanori Abe(Hirose Cherry Precision Co.,Ltd.),Akihiro Gotoh(Hirose Cherry Precision Co.,Ltd.),Susumu Abe(Kanagawa University)

キーワード: 薄膜磁気センサ|磁界センサ|大バルクハウゼンジャンプ|大バルクハウゼン効果|薄膜ピックアップコイル|磁気的2層薄膜

要約(日本語): 電磁ピックアップ素子は，磁界変化率が小さいときの感度が低いという欠点がある。この問題を解決するのと,電磁ピックアップ素子を薄膜デバイス化することを目指し，我々は大バルクハウゼンジャンプを発現するNi-Fe磁性薄膜を以前開発した。そこで，本研究ではこの磁性薄膜と薄膜ピックアップコイルを同一基板に一体化した薄膜磁気センサを試作して，その磁界センシング動作を確認した。ここで，コイルには厚さ2μmのCu薄膜を用いて，フォトリソグラフィによって外寸12mm×24mm，配線幅と線間隔が50μmの8の字スパイラル形状にパターニングした。また，磁性薄膜は大きさ2mm×10.5mmの短冊形状でコイルの中心部にパターニングした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 150 Kバイト