搬送波抑制回路を適用した高周波キャリア形薄膜磁界センサの検出感度

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-191

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Sensitivity of High-Frequency Carrier-Type Thin-Film Magnetic Field Sensor with Carrier Suppression Technique

著者名: 菊池 弘昭(東北大学),馬渡 宏(東北大学),薮上 信(東北大学),山口 正洋(東北大学),荒井 賢一(東北大学),鈴木 哲(仙台電波工業高等専門学校)

著者名(英語): Hiroaki Kikuchi(Tohoku University),Hiroshi Mawatari(Tohoku University),Shin Yabukami(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Ken-ichi Arai(Tohoku University),Tetsu Suzuki(Sendai National Collage of Technology)

キーワード: 高周波キャリア形薄膜磁界センサ|搬送波抑制|検出感度

要約(日本語): 高周波キャリア形薄膜磁界センサの理論的な検出限界は室温で10^-13Oe台に達し、SQUID磁力計の感度に匹敵するものと考えられる。そこで、筆者らは磁界センサの検出回路として搬送波抑制回路を用いて検出感度の向上を図った。交流磁界計測においては、キャリアの位相雑音を熱雑音以下に低減させ、9×10^-8Oeの検出感度を達成した。この感度は室温で動作する薄膜磁界センサとしては世界最高である。一方、直流磁界計測においては、搬送波抑制回路を利用してセンサ出力のオフセット分を低減させることで、センサの高感度化を図り、2.5×10^-5Oeの検出分解能を得ることができた。

原稿種別: 日本語

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