等価回路解析によるRF集積化磁性薄膜インダクタの評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-193

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Evaluation of An RF Integrated Magnetic Thin-Film Inductor by Equivalent Circuit Analysis

著者名: 山口 正洋(東北大学),栗原 崇(東北大学),荒井 賢一(東北大学)

著者名(英語): Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Takashi Kuribara(Tohoku University),Ken-ichi Arai(Tohoku University)

キーワード: RF集積化磁性薄膜インダクタ|等価回路解析|透磁率

要約(日本語): RF集積回路へインダクタを実装する際、等価回路定数の算出は必要不可欠なものである。また、RF集積化磁性薄膜インダクタの等価回路解析により、空心インダクタに磁性薄膜を付与したことによる磁性薄膜の透磁率の効果を知ることができる。我々は、微細加工技術、RF測定技術および等価回路解析技術を用いることで、実際のRF集積回路において一般に使用されるような2ポート型の磁性薄膜インダクタを作製、測定し、その等価回路定数を算出した。このことから、空心インダクタに磁性薄膜を付与したことによるインダクタンスの増加分および発生した漂遊容量の値を知ることができたのでそれを報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 124 Kバイト