EB露光装置の磁気環境改善に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-003

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Study for Improving Magnetic Environment near Electron Beam(EB) Exposure

著者名: 山崎 慶太(竹中工務店),足穂孝平 (岡山大学),藤原 耕二(岡山大学),高橋 則雄(岡山大学),芳賀 昭(東北学院大学),近藤竜矢 (東北学院大学)

著者名(英語): Keita Yamazaki(Takenaka Corp.),Kohei Ashiho(Okayama University),Koji Fujiwara(Okayama University),Norio Takahashi(Okayama University),Akira Haga(Tohoku Gakuin University),Tatsuya Kondo(Tohoku Gakuin University)

キーワード: EB露光装置|エレベータ|有限要素法|地磁気|磁気双極子

要約(日本語): 我々は、EB露光装置の磁気環境の改善を目的として，シールドルーム、アクティブシールドなどシールドの手法とともに、シールド性能を設計するために重要な種々のノイズ源の発生する磁界変動について検討を行っている．今回は、有限要素法を用いた磁界解析によって磁化の大きさと方向を求めた後、その磁気双極子が作る磁界に関する積分公式によって、鉄体で構成されたエレベータが移動することに起因する磁界変動の大きさを予測した。さらに、実際のエレベータの移動に起因する磁界変動の測定結果と比較検討し、解析結果の有用性を明らかにした．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 157 Kバイト