PZT 薄膜を用いたフェイズドアレイ超音波マイクロセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-104

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Phased Array Ultrasonic Micro Sensor Using PZT Thin Film

著者名: 山下 馨(大阪大学),福永 寿朗(大阪大学),村上 英之(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),青柳 誠司(関西大学),鈴木 義彦(大阪府立産業技術総合研究所)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Osaka University),Toshiaki Fukunaga(Osaka University),Hideyuki Murakami(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Seiji Aoyagi(Kansai University),Yoshihiko Suzuki(Technology Research Institute of Osaka Prefecture)

キーワード: 超音波センサ|PZT薄膜|フェイズドアレイ|周波数チューニング

要約(日本語): SOIウェハのマイクロマシニングにより形成したダイアフラム構造上に、ゾルゲル法によりPZT 薄膜を製膜し、超音波マイクロアレイセンサを作製した。空気中での物体認識への応用を考え、共振周波数を100kHzと設計した。作製したセンサは素子間に共振周波数のばらつきをもつため、PZT薄膜にポーリングを行うことにより周波数のチューニングを行った。4素子リニアアレイについて、1V～7V のポーリングにより周波数ばらつきを0.5%以内にそろえた。このようにチューニングしたアレイセンサを用いて、パルス超音波照射による物体認識の測定を行い、複数物体の距離と方向を明瞭にとらえることができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 177 Kバイト