薄膜電極を用いた微細磁性薄膜の透磁率計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-109

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Permeability measurement of magnetic thin film using conductive film pad

著者名: 薮上 信(東北大学),角嶋 邦之(東京大学),山口 正洋(東北大学),荒井 賢一(東北大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Shin Yabukami(Tohoku University),Kuniyuki Kakushima(University of Tokyo),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University),Kenichi Arai(Tohoku University),Hiroyuki Fujita(University of Tokyo)

キーワード: 薄膜透磁率計測|薄膜電極

要約(日本語): シリコン基板上にアルミニウム薄膜で電極パターンを作成し、磁性薄膜を電気的に接触させて、高周波電流を直接通電することによる磁性薄膜の新しい透磁率測定方法を検討した。電極パターンはコプレーナ線路の終端において磁性薄膜を導通させるものであり、コプレーナ線路による引き出し線はウエハプローブにより接続し、高周波インピーダンスを計測した。磁性薄膜と電極パターンとの電気的導通を確保するために、FIBにより、電極パターンの盛り上げ加工を行った。しかし磁性薄膜と電極との導通が得られず、その原因について検討をした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 254 Kバイト