ダイオード温度センサを用いたマイクロエアブリッジヒータとその応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-111

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Micro Air-Bridge Heater Using a Diode Temperature Sensor and its Applications

著者名: 豊島 克久(東北学院大学),中道 晶仁(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Katsuhisa Toshima(Tohoku-Gakuin University),Akihito Nakamichi(Tohoku-Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku-Gakuin University)

キーワード: マイクロヒータ|エアブリッジ|温度センサ|湿度センサ|ガスセンサ|ガス分析

要約(日本語): Si基板に形成したマイクロエアブリッジヒータの応用として，我々はこれまで絶対湿度センサの開発を行ってきた。このセンサは，薄膜白金ヒータを用いており，ヒータ温度を450℃程度に上昇させないと感度が小さいため，ヒータの経時変化が現れるなどの問題があった。本研究では，ダイオード温度センサを搭載したマイクロエアブリッジ単結晶Siヒータを提案し，試作，特性評価，さらにその応用について検討を行ったので報告する。本研究のダイオード温度センサは，新たに提案するものでpn接合の順方向又は逆方向の半固定バイアスにより，可変感度でサーミスタ的な絶対温度が計測可能であり，極めて高感度で高速応答の温度センサが期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 465 Kバイト