マイクロリアクターチップのシステム・イン・パッケージ化による集積回路型反応デバイスの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of Electric circulate Devices packaged with microchannel chip

著者名: 礒田 隆聡(北九州市立大学),上江洲 一也(北九州市立大学),原口 昭(北九州市立大学),櫻井 和朗(北九州市立大学),吉塚 和治(北九州市立大学),道木 啓介(北九州市立大学),山崎 得司(北九州市産業学術推進機構)

著者名(英語): Takaaki Isoda(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Kazuya Uezu(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Akira Haraguchi(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Kazuo Sakurai(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Kazuharu Yoshizuka(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Keisuke Michiki(The Center of Mesurement and Analysis,The University of Kitakyushu),Noritsuka Yamazaki(Kitakyushu Foundation for the Advancement of Industry,Science and Technolog)

キーワード: システム　イン　パッケージ|マイクロリアクター|マイクロチャンネルチップ|デバイス|マイクロマシン|マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム

要約(日本語): 本研究では、化学反応の単位操作(原料流体の流入、温度制御、反応、生成物の流出)をワンパッケージ化した流体MEMSシステムを構築するため、反応器要素や微小機械要素をチップ上に小型化し、集積化したμ-チャンネルチップを開発し、これを電子回路内に実装する方法について検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 253 Kバイト